真空爐的操作步驟，主要體現在以下這些方面：
　　
　　1、打開真空爐門并裝料。關閉爐門，確保爐子密封良好。
　　
　　2、檢查所有手動真空閥，確保其關閉。
　　
　　3、當主電源接通時，控制顯示屏亮起。
　　
　　4、打開冷水機組電源，在冷水機組操作界面輸入所需水溫，啟動水冷系統（詳見冷水機組操作手冊）。
　　
　　5、打開旋葉泵上的排氣口，確保氣體循環。（使用旋片泵后，密封通風口，防止雜質進入旋片泵）確保擴散泵和旋片泵閥門關閉。
　　
　　6、在觸摸屏操作界面上啟動旋葉泵和擴散泵。
　　
　　7、緩慢旋轉并打開旋片泵閥，以避免因排氣口空氣量過大而噴油。
　　
　　8、在旋片泵和擴散泵運行約1小時后，真空表右側顯示屏顯示小于100Pa，關閉旋片泵閥，打開擴散泵閥。
　　
　　9、當真空表顯示屏上達到所需的真空度時，關閉真空泵組并開始加熱。（真空泵組關閉過程：先關閉擴散泵閥→停止擴散泵→40分鐘后停止旋轉葉片泵）也可以在抽真空期間加熱。
　　
　　10、在升溫操作界面輸入所需的工藝要求，開始加熱。
　　
　　11、加熱程序停止后，（如果在添加過程中抽真空，則在真空爐的爐膛溫度降至適合該過程的溫度后關閉真空泵機組，關閉過程同上），只有擴散泵的溫度降至可觸摸溫度時才能關閉擴散泵。
　　
　　12、當爐膛溫度降至室溫時，打開排氣閥，等待爐膛內壓力達到大氣壓。
　　
　　13、打開爐門，取出材料。
　　
　　14、材料取出后，應清潔真空爐內部。長時間不用時，爐門應保持關閉，爐內應保持真空狀態。
　　
　　真空爐的熱處理效果能否達到預期的效果，對掌握正確的操作流程至關重要。同時，按照正確的步驟操作也是設備的維護措施，可以降低故障率，延長使用壽命。